Microscopía Electrónica de Barrido (SEM)

Microscopio Electrónico de Barrido y Sistema de Microanálisis Elemental por Dispersión de Rayos X (SEM-EDX)

El Microscopio Electrónico de Barrido de Emisión de Campo (FE-SEM) ZEISS Gemini SEM 360 cuenta con una resolución de 0,7 nm y puede trabajar con una presión variable hasta 500 Pa, permitiendo generar imágenes de alta resolución bajo distintas condiciones de trabajo. De manera adicional, el FE-SEM está equipado con un sistema de microanálisis por dispersión de energía de rayos X (EDS) que permite realizar cuantificación elemental espacial (mapas de rayos X característicos).

Principios

El microscopio electrónico de Barrido o Scanning Electron Microscope (SEM) es un equipo con gran capacidad de aumento, y su funcionamiento se basa en el uso de un haz de electrones acelerados a gran velocidad que impactan con la muestra. Estos electrones interactúan con la muestra permitiendo, entre otras interacciones, arrancar electrones de la superficie. Mediante la utilización de detectores especializados es posible reconstruir una imagen de la muestra a partir de dichos electrones y visualizar la topografía que posee. De manera adicional es posible utilizar los electrones incidentes que son retrodisperados en la muestra, para generar una imagen que contiene información topográfica y también de contraste químico.

Tecnología

Los principales componentes del microscopio son: una fuente de emisión de electrones, lentes electromagnéticas, cámara de vacío, platina, detectores de electrones, detector de Rayos X y software para procesamiento de imagen.

La fuente de emisión es tipo Schottky, y es posible realizar imágenes simultáneas de electrones secundarios y retro dispersados Inlens y obtener información de alta resolución, de superficie y de composición, incluso en muestras sensibles o difíciles.

Detectores

Los detectores integrados en el equipo son: Detectores de electrones secundarios (SE) en columna; Detector SE tipo Everhart-Thornley montado en la cámara; Detector EsB (detector de electrones retro dispersos en columna con filtro de energía); Detector aBSD1 VP (detector de electrones retro dispersos de estado sólido, multimodo, retráctil neumáticamente, integrado en la apertura de bajo vacío); y Detector aBSD1 (detector de electrones retro dispersos de estado sólido, multimodo, retráctil neumáticamente).

El equipo también incluye un sistema de microanálisis por dispersión de energía de rayos X (EDS) que permite analizar rápidamente las muestras, determinando qué elementos están presentes y cómo se distribuyen.

El Sistema NanoVP (Nano vacío a Presión variable) permite además utilizar los detectores InLens en modo de bajo vacío con una presión de hasta 150 Pa, lo que permite al usuario obtener imágenes de alta resolución en bajo voltaje, en muestras difíciles que no puedan observarse en alto vacío.

Aplicaciones

Son variadas las aplicaciones que tiene el Microscopio electrónico de barrido (SEM), y éstas pueden abarcar desde la ciencia de los materiales, ciencias de la biología molecular y celular, así como aplicaciones industriales. La información obtenida con las imágenes capturadas por el SEM permiten tener una información relevante con respecto a la composición y forma de una estructura.

Las principales áreas de aplicación pueden ser:

  • Investigaciones en Nanotecnología

  • Investigaciones en Biología celular y molecular.

  • Investigaciones del área Geológica.

  • Estudio de materiales.

  • Área de la metalurgia.

  • Área de la Palenteología y Arqueología.

Imágenes de alta resolución en alto vacío

Contraste topográfico en modo de alto vacío a gran distancia de trabajo y a alto kV a través del detector SE montado en la cámara (izquierda). De manera complementaria se obtiene información de la composición, topográfía y de la superficie 3D altamente sensible mediante el detector anular de electrones retrodispersados (derecha).

Imágenes de alta resolución a bajo voltaje

Contraste topográfico de alta resolución a bajos kV con el detector SE en columna (izquierda).

Análisis de materiales altamente sensibles contrastados a bajos kV con el detector de electrones retrodispersados en columna (derecha).

Imágenes de alta resolución en bajo vacío

Contraste topográfico en modo de presión variable a través del detector VPSE montado en cámara.

Imágenes en modo NanoVP

Sistema de presión variable de alta resolución que permite el uso de los detectores InLens en modo de presión variable (hasta 150 Pa). Esto permite obtener imágenes estructurales de alta resolución de muestras propensas a cargarse. Normalmente, una resolución más alta requiere una corriente de sonda más alta y, por lo tanto, la probabilidad de carga es elevada. Incluye una apertura de bombeo diferencial retráctil con un detector de electrones retrodispersados de estado sólido, multimodo, con 5 cuadrantes. retráctil neumáticamente, integrado a la apertura.

Análisis por EDX

El equipo cuenta con un sistema de microanálisis por dispersión de energía de rayos X (EDS) marca Oxford Instruments, modelo AZtecLive Lite, con detector analítico tipo SDD Ultim Max de 40 mm2, configurado a una distancia de trabajo de 8.5 mm y un ángulo de despegue de 35°.

SOLICITUD DE SERVICIO

Cada usuario (quien requiere el servicio), antes de su primera solicitud de servicio, deberá registrarse y crear una cuenta como usuario contactando al operador a cargo del instrumento vía correo electrónico.

Operador del equipo:

José Galáz

Fono: 22 7877919

Correo electrónico:fesem@utem.cl.

Creación de usuario:

Puedes realizarlo directamente en aquí.

Puedes descargar la información completa con respecto a:

  • Agendamiento del servicio.

  • Características de las muestras.

  • Montaje y preparación.

  • Adquisición de datos.

  • Entrega de resultados.

Si ya eres usuario, puedes realizar la solicitud de servicio llenando la solicitud.

SOLICITUD DE SERVICIO

Las tarifas para los usuarios de la UTEM estarán dadas de acuerdo a

TARIFAS USUARIOS EXTERNOS UNIVERSIDADES

Las tarifas para los usuarios externos que pertenecen a universidades estatales o privadas serán establecidas como sigue:

TARIFAS USUARIOS EXTERNOS EMPRESAS

Las tarifas para los usuarios externos pertenecientes a empresas estarán dadas como sigue:

Registro Usuarios – FESEM UTEM

Este es el formulario de registro de usuarios del microscopio electrónico de barrido de emisión de campo (FESEM) UTEM.
Por favor, complete este formulario como un requisito para el acceso y uso del centro de cómputo.
 

Solicitud de servicio FESEM UTEM

En caso de consultas, puedes comunicarte con nosotros en el (+56 2) 2787 7919 
 
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